研究成果 2011/08/12
本学物質創成科学研究科情報機能素子科学研究室の浦岡行治教授と同研究科メゾスコピック科学研究室の山下一郎教 授らの研究グループは、タンパク質を使うバイオ技術で作製した超高密度の均一なナノ粒子を含む３次元のフローティングゲート（蓄積電極）メモリを動作させ ることに世界で初めて成功しました。
新たに開発したナノメートルサイズの微細構造を作製する技術は、遺伝子工学に基づきタンパク質を使う バイオ技術と半導体微細加工技術とを融合させたもので、ナノ製造技術の新しい潮流と位置づけられます。この技術により高密度化が進む半導体回路の課題であ る高速・低消費電力をクリアするとともに、温度管理などの巨大設備がいらないバイオ技術により低コストで高性能、高信頼性のあるフラッシュメモリなどを大 量生産する道が開けます。
この研究成果は、応用物理学会論文誌Applied Physics Expressとして近く掲載予定です。
